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喜訊！中國科大6G濾波器研發(fā)取得重大突破 愛集微APP     2022-05-22 22:10    

近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)（以下簡稱“中國科大”）網(wǎng)站對外發(fā)布，中國科大在6G濾波器領(lǐng)域取得重要進展。該研究成果由微電子學(xué)院左成杰教授研究團隊在鈮酸鋰（LiNbO3）壓電薄膜上設(shè)計并實現(xiàn)了Q值超過100000的高頻（6.5 GHz）微機電系統(tǒng)（MEMS）諧振器，與文獻(xiàn)中現(xiàn)有的工作相比，把Q值提升了2個數(shù)量級。

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