為了追趕臺積電,很顯然三星也在努力的采購ASML的最新一代光刻機,而花費也是巨大的。 據(jù)韓國媒體報道稱,三星電子和ASML就引進今年生產(chǎn)的EUV光刻機和明年推出高數(shù)值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達(dá)成采購協(xié)議。