高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別：級(jí)、級(jí)、級(jí)、級(jí)和級(jí)，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。

高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：

1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求；

2.制水工藝的水平；

3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。