碎硅片屬于硅原料五大類（碎硅片、單晶硅片、頭尾料、堝底料和特殊物料）的其中之一。碎硅片(Brokenwafer)是操作人員在單晶硅片的切片、脫膠、清洗、物流的系列生產(chǎn)過程中因破損而產(chǎn)生的碎片。

除去碎硅片中雜質(zhì)的部分，按半導(dǎo)體阻態(tài)，碎硅片可分為高阻片和重慘片;其中高阻片按照生產(chǎn)工藝可分為:原片高阻、拋光片高阻和工藝片高阻。

原片高阻

片面干凈且兩面均為灰色的碎硅片

片面干凈且兩面均為光澤的碎硅片

片面干凈且一面灰色另一面光澤的碎硅片

拋光片高阻

片面干凈且兩面均可作鏡子的碎硅片

片面干凈且一面可作鏡子另一面光澤或灰色的碎硅片

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