硅片又稱硅晶圓片， 是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手 段，可以制成集成電路和各種半導(dǎo)體器件。 硅片是以硅為材料制造的片狀物體，直徑有 6 英寸、 8 英寸、 12 英寸等規(guī)格。單晶硅是硅的單晶體，是一種比較活潑的非金屬元素， 具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)。不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料。純度 要求達(dá)到 99.9999%，甚至達(dá)到 99.9999999%，雜質(zhì)的含量降到 10-9的水平。采用西門子 法可以制備高純多晶硅，然后以多晶硅為原料，采用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長 出棒狀單晶硅。單晶硅圓片按其直徑主要分為 6 英寸、 8 英寸、 12 英寸及 18 英寸等。