X熒光無(wú)損膜層測(cè)厚儀采用X射線熒光的工作原理是，X 射線管產(chǎn)生初級(jí)射線照射在受檢物質(zhì)時(shí)，會(huì)激發(fā)物質(zhì)放射X－射線螢光輻射，特定的元素有特定的輻射信號(hào)，接收器便會(huì)記錄這些能量光譜。不需要先對(duì)樣品進(jìn)行處理便能測(cè)量，樣品可直接放入測(cè)量室進(jìn)行測(cè)量。不需要復(fù)雜、昂貴的儀器來(lái)抽真空，便能在正常的環(huán)境下測(cè)量從元素Z＝13鋁到Z＝92（鈾），固定、漿狀及液體的樣本也可以測(cè)量，即使是極小不規(guī)則形狀的測(cè)量面積也可快速、免接觸的測(cè)量。X熒光無(wú)損膜層測(cè)厚儀只需短短數(shù)秒鐘，所有從17號(hào)元素氯到92號(hào)元素鐳的所有元素都能準(zhǔn)確測(cè)定.可測(cè)量：

單一鍍層：Zn， Ni，Cr，Cu，Ag，Au，Sn等。 二元合金層：例如Fe上的SnPb，ZnNi和NiP合金。

三元合金層：例如Ni上的AuCdCu合金。

雙鍍層：例如Au/Ni/Cu，Cr/Ni/Cu，Au/Ag/Ni，Sn/Cu/Brass，等等。

雙鍍層，其中一個(gè)鍍層為合金層：例如Cr/NiCu/Plastic；Fe。

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