PVD涂層與其他表面處理的比較1、CVD簡(jiǎn)介（Chemical Vapor Deposition——化學(xué)氣相沉積）（1）將各種化學(xué)反應(yīng)物質(zhì)：如四氯化鈦（TiCl4）和甲烷（CH4）等含碳?xì)怏w（或其它碳氮?dú)怏w）蒸氣等通入反應(yīng)爐體內(nèi)，在高溫（900~1200℃）狀態(tài)下，TiCl4中的鈦（Ti）和碳?xì)浠衔镏械奶迹–）在模具表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，從而生成一層金屬化合物涂層碳化鈦（TiC）。利用不同的反應(yīng)物，可得到不同的薄膜，如TiN、Ti（CN）、CrC等等。（2）CVD的優(yōu)點(diǎn)： ①鍍膜與基材的附著性?xún)?yōu)良； ②復(fù)雜的形狀都可以處理：如深孔、內(nèi)管、細(xì)縫等。（3）CVD的優(yōu)點(diǎn)： ①鍍膜溫度太高，對(duì)基材和反應(yīng)設(shè)備的耐熱性要求很高，很多工件難以承受； ②高溫使基材尺寸變化和變形嚴(yán)重，故適于精密度高的工件； ③對(duì)于要求工件局部鍍膜，難以實(shí)現(xiàn)； ④活潑性氣體源的使用，制程中有爆炸、毒性氣體泄漏等隱患，且對(duì)環(huán)境有污染。2、TD簡(jiǎn)介（Thermal Diffusion Coating Process——熱擴(kuò)散法碳化物覆層處理）（1）在空氣爐或鹽槽中放入一個(gè)耐熱的坩堝，將硼砂放入坩堝加熱熔化至800~1200℃，然后加入相應(yīng)的碳化物形成粉末（如鈦、鋇、鈮、鉻），再將鋼或硬質(zhì)合金工件放入坩堝中浸漬保溫1~2小時(shí)，加入元素將擴(kuò)散至工件表面并與鋼中的碳發(fā)生反應(yīng)形成碳化物層（如：VC—碳化釩；CrC—碳化鉻），所得到的碳化物層具有很高的硬度和耐磨性。（2）TD***主要適合于以下鉻鋼的工件