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潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)如何節(jié)能（1）

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同，它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內(nèi)，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的塵埃，就可能導致芯片電路短路。潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外，還對溫度、濕度、震驚、噪音等都有不同程度要求。

同時，因為半導體器件出產(chǎn)工藝的特點，要求潔凈廠房內(nèi)全天（24h)保持相應的潔凈度，目此，潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應的輸送系統(tǒng)需天天24h運行，這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。

為了減小潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的耗能，首先有必要對其耗能的特點進行分析。

1）送風量大

潔凈度的進步和維持是半導體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設計和運行的重要任務，這一任務的完成要依靠很高的送風量，是以高能耗為代價的。就送風量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導件器件廠房內(nèi)，為了知足相應的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使輪回風量非常大。100級潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。

2）新風負荷大

在電子廠房中，某些車間披發(fā)出有害氣體，需要通過排風加以消除，這就加大了系統(tǒng)的新風量。潔凈室的各類制冷負荷中，*重要的有新風、風機溫升和設備散熱3項，而尤以新風**。根占有關(guān)部分統(tǒng)計，新風負荷可以從20％～70％，風機溫升從8％～20％多，工藝設備可以從16%～50％。潔凈室內(nèi)均勻所需新風量在45～60m3/（m.m2），新風冷負荷比室內(nèi)顯熱冷負荷還要大約近1倍。