檢測(cè)方案：是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)期運(yùn)行的保證。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的特殊性，除了進(jìn)行嚴(yán)格的設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試外，為確保其性，必須對(duì)其進(jìn)行必要的工程檢測(cè)和嚴(yán)格的驗(yàn)收，達(dá)到要求和使用要求后才可投入運(yùn)行。另外，使用過(guò)程中的一些因素，如非專(zhuān)業(yè)的管理和使用，過(guò)濾器的更換等，都會(huì)對(duì)實(shí)驗(yàn)室的性產(chǎn)生影響，因此，使用中的定期檢測(cè)與同樣重要。

無(wú)塵車(chē)間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠(chǎng)用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠(chǎng)時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計(jì)和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠(chǎng)的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠(chǎng)的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中

采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線(xiàn)在高壓靜電的作用下，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過(guò)電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽(yáng)極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽(yáng)極后釋放電荷。 缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除毒害氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國(guó)市場(chǎng)評(píng)為差凈化器。

潔凈車(chē)間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級(jí)，常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝對(duì)于環(huán)境的要求。生產(chǎn)過(guò)程中需要對(duì)于溫濕度有所控制。企業(yè)利用凈化車(chē)間有效降低空氣中的灰塵、、病毒等，并實(shí)現(xiàn)恒溫恒壓恒噪，提供良好的生產(chǎn)環(huán)境。凈化無(wú)塵車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)溫濕度。