控制系統(tǒng):是整個潔凈實驗室-生物實驗室運(yùn)行的神經(jīng)中樞。由于潔凈實驗室-生物實驗室的實驗對象是危險性的微生物,出于嚴(yán)格控制污染的原則,它要求以少的維護(hù)人員,運(yùn)用化的管理維護(hù)手段,來實時監(jiān)控每一個實驗室中設(shè)備所處的物理環(huán)境,保證實驗室運(yùn)行過程中始終處于相對負(fù)壓環(huán)境,防止危險性微生物外泄。
無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中
配電箱的進(jìn)出線選用低壓電纜,電纜的選擇應(yīng)符合技術(shù)要求。例如30kVA、50kVA變壓器的配電箱的進(jìn)線使用VV22-35×4電纜,分路出線使用同規(guī)格的VLV22-35×4電纜;80kVA、100kVA變壓器的配電箱的進(jìn)線分別使用VV22-50×4、VV22-70×4電纜,分路出線分別使用VLV22-50×4、VLV22-70×4電纜,其電纜與銅鋁接線鼻壓接后再用螺栓與配電箱內(nèi)接線樁頭連接。進(jìn)入制證車間之前,先要穿上防塵鞋套,車間門口就安放有自動鞋套機(jī)。隨后,筆者走進(jìn)了一個兩端都有門的“小走廊”,“走廊”兩側(cè)的無數(shù)個小“吹風(fēng)機(jī)”不斷對筆者“吹風(fēng)”。這間“小走廊”名為“風(fēng)淋室”,“吹風(fēng)機(jī)”是旋轉(zhuǎn)噴嘴,能迅速清除附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物。每一位工作人員和外來人員進(jìn)入潔凈室無塵車間之前,都要通過風(fēng)淋間“凈化”。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。
潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。