萬級凈化車間的潔凈度：潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬級實(shí)驗(yàn)室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。

壓差及溫濕度控制：

1）溫度:干盤管系統(tǒng)控制。

2）濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。

3）正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。

凈化車間恒溫恒濕運(yùn)行原理：

制冷原理，當(dāng)凈化車間溫度高于所設(shè)定溫度兩度以上（包括兩度）之時(shí)，主機(jī)控制器會給與車間外機(jī)一個(gè)信號并且該信號可以使得車間外秒變冷凝器，同時(shí)車間內(nèi)變?yōu)檎舭l(fā)器給車間內(nèi)降溫，通過風(fēng)機(jī)送至空調(diào)房間，達(dá)到制冷目的。

對于如凈化車間的空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，凈化車間常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧和超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。

從確保如凈化車間內(nèi)相對濕度的精度而言，上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高，故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時(shí)不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法，噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個(gè)噴蒸汽效率的問題，并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中，而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此，凈化車間選擇干蒸汽加濕的加濕量時(shí)應(yīng)考慮其噴蒸的效率。