為了適應核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來的精度的加工技術(shù)。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數(shù)量級。到20世紀80年代，加工尺寸精度可達10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達1納米。超精密加工對工件材質(zhì)、加工設備、工具、測量和環(huán)境等條件都有特殊的要求，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)、計算機控制以及其他先進技術(shù)。工件材質(zhì)必須極為細致均勻，并經(jīng)適當處理以消除內(nèi)部殘余應力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。加工設備要有的運動精度，導軌直線性和主軸回轉(zhuǎn)精度要達到0.1微米級,微量進給和定位精度要達到0.01微米級。對環(huán)境條件要求嚴格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。加工系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差和隨機誤差都應控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)和計算機控制等各種先進技術(shù)獲得的。

非標自動化設備制作：非標自動化設備的制作不像普標設備制作那么簡單，普標設備的制作生產(chǎn)根據(jù)具體的規(guī)定按流程制作就可完成。而非標設備需要根據(jù)根據(jù)具體的使用場所，行業(yè)特征、以及用途進行獨立設計，非標設備的設計沒有具體的參考模型。

加工精度與加工誤差都是評價加工表面幾何參數(shù)的術(shù)語。模具加工精度用公差等級衡量，等級值越小，其精度越高；加工誤差用數(shù)值表示，數(shù)值越大，其誤差越大。加工精度高，就是加工誤差小，反之亦然。從設備制造角度來分析，我國精密模具配件加工制造精度還不高，外觀設計亦不夠美觀。所以精密模具配件加工制造廠家須精益求精。

精密和超精密加工時現(xiàn)代機械加工制造技術(shù)的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業(yè)水平高低的重要指標之一。20世紀60年代以來，隨著計算機及信息技術(shù)的發(fā)展，對制造技術(shù)提出了更高的要求，不僅要求獲得的尺寸、形位精度，而且要求獲得的表面質(zhì)量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術(shù)得到了迅速的發(fā)展，各種工藝、新方法不斷涌現(xiàn)。