凈化車間外觀檢查應(yīng)符合：各種空氣凈化設(shè)備、靜壓箱要清洗干凈，確保無塵；各種調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、靈活、操作方便；各種管道、自動(dòng)滅火裝置及空氣凈化設(shè)備的安裝應(yīng)正確、嚴(yán)密、牢固；初、中、空氣過濾器與支撐框架的連接以及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)可靠封閉；凈化車間內(nèi)的各種刷涂、保溫工程等應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定；凈化車間的內(nèi)墻壁、頂棚表面、地面應(yīng)平整、光滑、不起灰塵、色澤均勻等；送、回風(fēng)口及各類末端裝置、管道、動(dòng)力線配管、照明等穿越凈化車間時(shí)，穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。

通過對(duì)較大固體、粉塵顆粒在前段進(jìn)行徹底的攔截，大大地減輕了后端多級(jí)過濾的壓力。二次過濾氣相攔截：高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。 高壓碰撞技術(shù)：氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集，細(xì)小的顆粒有逐級(jí)濾材完成。

凈化設(shè)備可使用油霧分離器，油霧凈化器，油霧處理器，油霧收集器，油霧過濾器、袋式除塵器、無塵工作臺(tái)、初效/中/過濾器、過濾器、水蒸發(fā)空調(diào)機(jī)、水溫空調(diào)等。大致的工作原理為：當(dāng)控制器接通電源時(shí)，油霧分離器口產(chǎn)生強(qiáng)大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風(fēng)輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實(shí)現(xiàn)空氣與水的分離。

潔凈車間，亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。