潔凈技術，即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是：對象(產品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中，對其所處環(huán)境內玷污物(影響對象的加工、處置、等質量、合格率或成功率的物質)進行控制的技術。 玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地：靜坐時，人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?！?.5μm); 每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。 半導體潔凈室內微污染來源，經測試，作業(yè)人員占80% 。

凈化車間竣工驗收相關文件：主要材料、設備和調節(jié)裝置、自動控制系統(tǒng)等出廠合格證書或檢驗文件；各項工程質量檢驗評定表；凈化車間設計文件、設計變更說明及有關協(xié)議、竣工圖；凈化車間里面各種設備性能指標記錄；開工、竣工報告、土建隱蔽工程系統(tǒng)、管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、管道系統(tǒng)吹洗記錄、設備開箱記錄、管道壓力試驗記錄、風管檢漏記錄、中間驗收單和竣工驗收單。

三次過濾真空吸霧： * 含有細小粉塵的各油霧經第三級分離被收集后，經后置活性炭過濾器能有效祛除異味和有害氣體，潔凈空氣在風機負壓的作用下，經風機直接排入空氣中。 油霧凈化設備，它是專業(yè)解決機床在加工過程中產生油霧、水霧或煙塵顆粒等環(huán)境問題的專業(yè)設備。能提高加工工件精度，延長設備使用壽命，并且能改善工作環(huán)境，保護工作人員身體健康。

通過對較大固體、粉塵顆粒在前段進行徹底的攔截，大大地減輕了后端多級過濾的壓力。二次過濾氣相攔截：高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。 高壓碰撞技術：氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集，細小的顆粒有逐級濾材完成。