潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過程中,對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。 玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(粒≥0.5μm); 每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。 半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源,經(jīng)測試,作業(yè)人員占80% 。
吸附性過濾—活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積,能與氣體(雜質(zhì))充分接觸,從而賦予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣,所有的分子之間都具有相互引力。
通過對較大固體、粉塵顆粒在前段進(jìn)行徹底的攔截,大大地減輕了后端多級過濾的壓力。二次過濾氣相攔截:高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。 高壓碰撞技術(shù):氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集,細(xì)小的顆粒有逐級濾材完成。
結(jié)構(gòu)材料 1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造 2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。 3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。 4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。