濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)煙氣熱量容易積聚。無塵車間一般呈密閉狀態(tài)，門窗少，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，同時(shí)造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內(nèi)各部位材料選到燃點(diǎn)的時(shí)間。煙霧毒性大。無塵車間內(nèi)裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發(fā)生燃燒時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量濃煙，散發(fā)毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來很大的威脅。

無塵車間風(fēng)管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應(yīng)設(shè)鋼板厚度不小于1.6mm的預(yù)埋管或防護(hù)套管，無塵車間風(fēng)管與防護(hù)套管之間應(yīng)采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風(fēng)管穿越建筑物變形縫空間時(shí)，應(yīng)設(shè)置柔性短管，無塵車間風(fēng)管穿越建筑物變形縫墻體時(shí)，應(yīng)設(shè)置鋼制套管，無塵車間風(fēng)管與套管之間應(yīng)采用柔性防水材料填充密實(shí)。