濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調(diào)系統(tǒng)

包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性?。?

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

潔凈室的清掃、。

1.潔凈室的清掃一般須在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進(jìn)行;如有必要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)在凈化空調(diào)系統(tǒng)開機(jī)運行時間達(dá)到潔凈要求后方可開始進(jìn)行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設(shè)施均應(yīng)按產(chǎn)品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。

清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設(shè)備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進(jìn)行擦拭，一般每天1次或數(shù)次。

工作臺及工器具清掃一般每天一次;10～1000級廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調(diào)系統(tǒng)每年宜清洗1～2次，并委托專門清掃人員進(jìn)行。

無塵車間風(fēng)管安裝就位的程序通常為先上層后下層，先主干管后支管，先立管后水平管。就位時應(yīng)注意，例如：采用吊裝組對無塵車間風(fēng)管時，應(yīng)加強(qiáng)表面的保護(hù)，注意吊點受力，保證吊裝穩(wěn)定、和無塵車間風(fēng)管不產(chǎn)生扭曲、彎曲變形等，必要時應(yīng)采取防止變形的措施。