濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

進(jìn)出潔凈室的管理

⒈進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進(jìn)行，不允許將潔凈用品帶至門廳。

⒉若有吹淋室，按規(guī)定進(jìn)行吹淋后,方可進(jìn)入潔凈室內(nèi)。同時，嚴(yán)格按照風(fēng)淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù)，不允許正在風(fēng)淋室強(qiáng)行關(guān)閉運(yùn)行風(fēng)機(jī)或電源。一般經(jīng)過風(fēng)淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。

⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側(cè)不應(yīng)放置物品，回風(fēng)口附近不要堆放物;送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺或氣流的上游進(jìn)行。

⒋不允許將與生產(chǎn)無關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。

⒌嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動。

⒍進(jìn)入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

⒎戴帽時，應(yīng)將頭發(fā)全部遮住，鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。

⒐退出潔凈室時，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進(jìn)入潔凈室內(nèi)，仍需按進(jìn)入潔凈室的規(guī)定順序進(jìn)行。

⒑退出潔凈室時，可以不需要經(jīng)過空氣吹淋而進(jìn)入更換區(qū)域。

潔凈室的清掃、。

1.潔凈室的清掃一般須在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進(jìn)行;如有必要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)在凈化空調(diào)系統(tǒng)開機(jī)運(yùn)行時間達(dá)到潔凈要求后方可開始進(jìn)行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設(shè)施均應(yīng)按產(chǎn)品特點(diǎn)、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。

清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設(shè)備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進(jìn)行擦拭，一般每天1次或數(shù)次。

工作臺及工器具清掃一般每天一次;10～1000級廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調(diào)系統(tǒng)每年宜清洗1～2次，并委托專門清掃人員進(jìn)行。

無塵車間風(fēng)管安裝就位的程序通常為先上層后下層，先主干管后支管，先立管后水平管。就位時應(yīng)注意，例如：采用吊裝組對無塵車間風(fēng)管時，應(yīng)加強(qiáng)表面的保護(hù)，注意吊點(diǎn)受力，保證吊裝穩(wěn)定、和無塵車間風(fēng)管不產(chǎn)生扭曲、彎曲變形等，必要時應(yīng)采取防止變形的措施。