濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

潔凈室

對生物潔凈室，除對送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對室內(nèi)器具、地面、墻面、壁板等表面進(jìn)行處理。空氣潔凈技術(shù)不能殺滅，生物潔凈室運(yùn)行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。

目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應(yīng)用為廣泛。

另外，整個被的潔凈室應(yīng)通過送回風(fēng)管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開機(jī)做空氣1—1.5小時;若需對潔凈室墻體、地面和設(shè)備等表面進(jìn)行則需2小時左右。

無塵室與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大，改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變，如果你材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

對于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風(fēng)速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾效率會隨之降低，但在實(shí)踐中這種影響并不明顯，因?yàn)轱L(fēng)速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。