濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

無塵室與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長，被材料吸附的可能性就越大，改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變，如果你材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

對于以慣性機(jī)理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風(fēng)速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾效率會隨之降低，但在實(shí)踐中這種影響并不明顯，因?yàn)轱L(fēng)速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。

無塵車間風(fēng)管安裝就位的程序通常為先上層后下層，先主干管后支管，先立管后水平管。就位時(shí)應(yīng)注意，例如：采用吊裝組對無塵車間風(fēng)管時(shí)，應(yīng)加強(qiáng)表面的保護(hù)，注意吊點(diǎn)受力，保證吊裝穩(wěn)定、和無塵車間風(fēng)管不產(chǎn)生扭曲、彎曲變形等，必要時(shí)應(yīng)采取防止變形的措施。