濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

火災(zāi)蔓延途徑多、蔓延速度快。無(wú)塵車(chē)間內(nèi)通風(fēng)管道、電氣線(xiàn)路套管、技術(shù)夾層等彼此串通，發(fā)生火災(zāi)，特別是火勢(shì)初起未被發(fā)現(xiàn)而繼續(xù)送風(fēng)，風(fēng)管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區(qū)域，造成火災(zāi)迅速蔓延。

無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調(diào)系統(tǒng)

包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車(chē)等。

⑶隔墻板（Partitional wall)

包括窗戶(hù)、門(mén)。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，滿(mǎn)足如下之條件：

A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性??；

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

無(wú)塵車(chē)間風(fēng)管的組對(duì)、連接長(zhǎng)度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的施工現(xiàn)場(chǎng)的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無(wú)塵車(chē)間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿(mǎn)足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無(wú)塵車(chē)間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。