濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)火災(zāi)蔓延途徑多、蔓延速度快。無塵車間內(nèi)通風(fēng)管道、電氣線路套管、技術(shù)夾層等彼此串通，發(fā)生火災(zāi)，特別是火勢初起未被發(fā)現(xiàn)而繼續(xù)送風(fēng)，風(fēng)管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區(qū)域，造成火災(zāi)迅速蔓延。

進(jìn)出潔凈室的管理

⒈進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時(shí)，按如上順序、路線進(jìn)行，不允許將潔凈用品帶至門廳。

⒉若有吹淋室，按規(guī)定進(jìn)行吹淋后,方可進(jìn)入潔凈室內(nèi)。同時(shí)，嚴(yán)格按照風(fēng)淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù)，不允許正在風(fēng)淋室強(qiáng)行關(guān)閉運(yùn)行風(fēng)機(jī)或電源。一般經(jīng)過風(fēng)淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。

⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側(cè)不應(yīng)放置物品，回風(fēng)口附近不要堆放物;送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺(tái)或氣流的上游進(jìn)行。

⒋不允許將與生產(chǎn)無關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。

⒌嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動(dòng)。

⒍進(jìn)入潔凈室前，個(gè)人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

⒎戴帽時(shí)，應(yīng)將頭發(fā)全部遮住，鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

⒏脫潔凈工作服時(shí)，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。

⒐退出潔凈室時(shí)，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進(jìn)入潔凈室內(nèi)，仍需按進(jìn)入潔凈室的規(guī)定順序進(jìn)行。

⒑退出潔凈室時(shí)，可以不需要經(jīng)過空氣吹淋而進(jìn)入更換區(qū)域。