濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)，氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此表現(xiàn)為越容易帶電。

無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調(diào)系統(tǒng)

包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，滿足如下之條件：

A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性?。?

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

潔凈室

對(duì)生物潔凈室，除對(duì)送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對(duì)室內(nèi)器具、地面、墻面、壁板等表面進(jìn)行處理?？諝鉂崈艏夹g(shù)不能殺滅，生物潔凈室運(yùn)行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。

目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應(yīng)用為廣泛。

另外，整個(gè)被的潔凈室應(yīng)通過(guò)送回風(fēng)管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開(kāi)機(jī)做空氣1—1.5小時(shí);若需對(duì)潔凈室墻體、地面和設(shè)備等表面進(jìn)行則需2小時(shí)左右。