潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

無塵車間生產(chǎn)工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風(fēng)管交錯連通、復(fù)合裝修材料復(fù)雜，有的生產(chǎn)過程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災(zāi)，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風(fēng)管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內(nèi)部還設(shè)有大量的昂貴儀器和設(shè)備，易造成重大的人員傷亡和財產(chǎn)損失。

火災(zāi)蔓延途徑多、蔓延速度快。無塵車間內(nèi)通風(fēng)管道、電氣線路套管、技術(shù)夾層等彼此串通，發(fā)生火災(zāi)，特別是火勢初起未被發(fā)現(xiàn)而繼續(xù)送風(fēng)，風(fēng)管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區(qū)域，造成火災(zāi)迅速蔓延。