濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面；

1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

2-靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊，失效率競達(dá)78，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏；

3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作；

4．靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞；

5．靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程

6．靜電放電引起的危險(xiǎn)的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計(jì)，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達(dá)21次。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

潔凈室

對(duì)生物潔凈室，除對(duì)送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對(duì)室內(nèi)器具、地面、墻面、壁板等表面進(jìn)行處理?？諝鉂崈艏夹g(shù)不能殺滅，生物潔凈室運(yùn)行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。

目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應(yīng)用為廣泛。

另外，整個(gè)被的潔凈室應(yīng)通過送回風(fēng)管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開機(jī)做空氣1—1.5小時(shí);若需對(duì)潔凈室墻體、地面和設(shè)備等表面進(jìn)行則需2小時(shí)左右。