潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)，氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此表現(xiàn)為越容易帶電。

火災(zāi)蔓延途徑多、蔓延速度快。無(wú)塵車(chē)間內(nèi)通風(fēng)管道、電氣線(xiàn)路套管、技術(shù)夾層等彼此串通，發(fā)生火災(zāi)，特別是火勢(shì)初起未被發(fā)現(xiàn)而繼續(xù)送風(fēng)，風(fēng)管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區(qū)域，造成火災(zāi)迅速蔓延。

潔凈室的清掃、。

1.潔凈室的清掃一般須在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進(jìn)行;如有必要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)在凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)機(jī)運(yùn)行時(shí)間達(dá)到潔凈要求后方可開(kāi)始進(jìn)行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設(shè)施均應(yīng)按產(chǎn)品特點(diǎn)、工序要求、潔凈度等級(jí)不同分別專(zhuān)用。

清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動(dòng)式真空清掃設(shè)備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進(jìn)行擦拭，一般每天1次或數(shù)次。

工作臺(tái)及工器具清掃一般每天一次;10～1000級(jí)廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬(wàn)～10萬(wàn)級(jí)每月一次。凈化空調(diào)系統(tǒng)每年宜清洗1～2次，并委托專(zhuān)門(mén)清掃人員進(jìn)行。