濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

進出潔凈室的管理

⒈進入潔凈室的人員應嚴格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶至門廳。

⒉若有吹淋室，按規(guī)定進行吹淋后,方可進入潔凈室內(nèi)。同時，嚴格按照風淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進入風淋室風淋的人數(shù)，不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經(jīng)過風淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。

⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側不應放置物品，回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。

⒋不允許將與生產(chǎn)無關的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。

⒌嚴禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進行非生產(chǎn)性活動。

⒍進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

⒎戴帽時，應將頭發(fā)全部遮住，鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。

⒐退出潔凈室時，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進入潔凈室內(nèi)，仍需按進入潔凈室的規(guī)定順序進行。

⒑退出潔凈室時，可以不需要經(jīng)過空氣吹淋而進入更換區(qū)域。

無塵車間風管的組對、連接長度應根據(jù)現(xiàn)場的施工現(xiàn)場的情況和吊裝設備而進行確定。無塵車間風管連接采用的密封材料應滿足系統(tǒng)功能的技術條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。