潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

無塵室在絕大多數(shù)情況下，運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因?yàn)樾×椒鄣臄U(kuò)散作用明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機(jī)會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經(jīng)驗(yàn)表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級。

無塵車間風(fēng)管的組對、連接長度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場的施工現(xiàn)場的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無塵車間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。