潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

凈化工作臺原理的潔凈環(huán)境是在特定的空間內，潔凈空氣(進濾空氣)按設定的方向流動而形成的。以氣流方向來分，現有的超凈工作臺可分為垂直式，由內向外式以及側向式。從操作質量和對環(huán)境的影響來考慮，以垂直式較優(yōu)越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個特定的速度下降通過操作區(qū)，在大約操作區(qū)的中間分開，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區(qū)下部前后部吸入的空氣混合在一起，并由鼓風機泵入后正壓區(qū)，在機器的上部，30的氣體通過排氣濾板從頂部排出，大約70的氣體通過供氧濾板重新進入操作區(qū)。為補充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補充。這些空氣不會進入操作區(qū)，只是形成一個空氣屏障。

進出潔凈室的管理

⒈進入潔凈室的人員應嚴格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶至門廳。

⒉若有吹淋室，按規(guī)定進行吹淋后,方可進入潔凈室內。同時，嚴格按照風淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進入風淋室風淋的人數，不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經過風淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數減少40—60 。

⒊為不干擾室內的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側不應放置物品，回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品，生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。

⒋不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。

⒌嚴禁在潔凈室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。

⒍進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

⒎戴帽時，應將頭發(fā)全部遮住，鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內或掛在規(guī)定的處所。

⒐退出潔凈室時，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進入潔凈室內，仍需按進入潔凈室的規(guī)定順序進行。

⒑退出潔凈室時，可以不需要經過空氣吹淋而進入更換區(qū)域。

潔凈室

對生物潔凈室，除對送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數要受到控制，還要對室內器具、地面、墻面、壁板等表面進行處理。空氣潔凈技術不能殺滅，生物潔凈室運行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。

目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應用為廣泛。

另外，整個被的潔凈室應通過送回風管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開機做空氣1—1.5小時;若需對潔凈室墻體、地面和設備等表面進行則需2小時左右。