全球半導(dǎo)體行業(yè)穩(wěn)定向好,中國(guó)市場(chǎng)如火如荼也帶動(dòng)了整個(gè)潔凈室產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。綜合來(lái)看,三因素決定我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展:
1)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體銷售占比和增速遠(yuǎn)高于全球平均水平,半導(dǎo)體市場(chǎng)消費(fèi)基數(shù)維持高位。
2)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備支出占比小增速快,設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)空間大。
3)半導(dǎo)體貿(mào)易逆差持續(xù)維持1,600億美元高位,“進(jìn)口替代”大勢(shì)所趨。
自動(dòng)控制設(shè)備保證了整個(gè)調(diào)節(jié)過(guò)程
凈化工程中空調(diào)系統(tǒng)的空氣濾清器阻力隨運(yùn)行時(shí)間的增加而增大。為了保持風(fēng)量，系統(tǒng)中的氣閥需要調(diào)整。凈化工程統(tǒng)一調(diào)試啟動(dòng)系統(tǒng)時(shí)，為了使風(fēng)機(jī)空載啟動(dòng)，需要關(guān)閉風(fēng)機(jī)出口的氣閥。風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后，由于空氣閥上的壓力，很難打開。在凈化工程中，選用空氣過(guò)濾器前后壓差的變化來(lái)控制風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速設(shè)備，供氣量的調(diào)節(jié)會(huì)變得非常容易，供氣壓力也會(huì)變得穩(wěn)定。
電話和消防設(shè)備是必不可少的
在凈化工程中設(shè)置電話、對(duì)講電話，減少人們?cè)跐崈魠^(qū)行走，減少灰塵量，火災(zāi)時(shí)及時(shí)與外界接觸，為正常的操作接觸創(chuàng)造條件。此外，在清潔工程中還應(yīng)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)，以避免火災(zāi)造成的不易被外界發(fā)現(xiàn)的嚴(yán)重經(jīng)濟(jì)損失。
怎樣做到電子無(wú)塵車間的清潔衛(wèi)生？(1)清潔潔凈室墻面時(shí)，清潔工程室無(wú)塵布應(yīng)使用。
(2)用90%去離子水和10%異丙醇制備洗滌劑。
(3)使用經(jīng)批準(zhǔn)的凈化工程潔凈室專用去污劑。
(4)每天對(duì)無(wú)塵車間的垃圾箱及配備的房間進(jìn)行檢查并及時(shí)清理。
(5)每層樓都要吸塵。并在《無(wú)塵車間清潔記錄》上注明工作完成情況。例如，從哪里開始，從哪里結(jié)束。
(6)清潔無(wú)塵凈化工程潔凈室地面時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉凈化系統(tǒng)，并將專用拖把用于無(wú)塵凈化室應(yīng)使用。
(7)帶過(guò)濾器應(yīng)使用的專用真空吸塵器，用于潔凈室除塵。
(8)潔凈室所有門窗應(yīng)進(jìn)行清潔和保養(yǎng)。
(9)潔凈室應(yīng)每天吸塵、拖地;墻壁、門窗應(yīng)每周清潔一次。
(10)無(wú)塵車間也應(yīng)真空吸塵并在抬高的地板下擦拭。
(11)電子無(wú)塵車間每三個(gè)月清潔一次架空地面下的立柱及支撐立柱。
(12)在潔凈室工作時(shí)，要始終記得從上往下擦拭，從離門遠(yuǎn)的地方往門的方向擦拭。
在工業(yè)潔凈車間，制藥廠是我們經(jīng)常遇到的工程方案。根據(jù)潔凈車間GMP要求，應(yīng)注意幾個(gè)重要參數(shù)。
一、空氣分布
潔凈車間的配風(fēng)形式是保證潔凈水平的關(guān)鍵因素。目前，規(guī)劃中經(jīng)常采用的空氣分配形式是根據(jù)清潔程度來(lái)確定的。例如,300000級(jí)潔凈工廠經(jīng)常使用的方法喂養(yǎng)和前返回,100000級(jí)和10000級(jí)清潔植物通常使用上喂養(yǎng)和下側(cè)的氣流方法返回,和更高水平的清潔工廠使用水平或垂直單向流動(dòng)的方法。二、換氣次數(shù)
一般空調(diào)系統(tǒng)換氣次數(shù)只需8-10次/小時(shí)，而工業(yè)潔凈車間換氣次數(shù)較低為12次，較高為數(shù)百次。顯然，換氣次數(shù)的差異導(dǎo)致了風(fēng)量能耗的巨大差異。規(guī)劃,準(zhǔn)確定位的基礎(chǔ)上,純凈的水,它是必要的,以確?？諝庾兓臄?shù)量來(lái)滿足需求,否則,一系列的問(wèn)題,如不合格的操作結(jié)果,清潔車間、抗干擾能力差、自潔能力相應(yīng)的延長(zhǎng)將被埋沒(méi)。
三、靜態(tài)壓差
一系列要求，如潔凈車間與不同等級(jí)的非潔凈車間之間不小于5pa，潔凈車間與室外車間之間不小于10Pa等?？刂旗o壓差的方法主要是提供一定的正壓風(fēng)量。規(guī)劃中經(jīng)常選用的正壓設(shè)備有剩余壓力閥、差壓電動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)器和回風(fēng)口安裝的空氣阻尼層。近年來(lái)，在規(guī)劃中經(jīng)常采用送風(fēng)量大于回風(fēng)量和排風(fēng)量的方法來(lái)代替正壓設(shè)備，相應(yīng)的自動(dòng)控制系統(tǒng)可以達(dá)到同樣的效果。
清潔承運(yùn)
可以看出，粉塵濃度高的潔凈度低，粉塵濃度低的潔凈度高?？諝馇鍧嵍仁窃u(píng)價(jià)空氣清潔度環(huán)境的中心目標(biāo)。如果空氣清潔度設(shè)定不準(zhǔn)確，就會(huì)出現(xiàn)大馬拉小車的現(xiàn)象，既不經(jīng)濟(jì)也不節(jié)能。例如，300000級(jí)標(biāo)準(zhǔn)源于藥監(jiān)局的新包裝標(biāo)準(zhǔn)。目前在主要產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中使用它是不合適的，但在一些輔助房間使用它是很好的。
因此，選擇什么樣的等級(jí)直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和經(jīng)濟(jì)效益。影響潔凈度的塵源主要來(lái)自生產(chǎn)過(guò)程中物品產(chǎn)生的粉塵、操作工的流動(dòng)以及室外新鮮空氣帶來(lái)的大氣粉塵顆粒。有效手段控制粉塵源進(jìn)入房間選擇關(guān)閉排氣塵埃的生產(chǎn)工藝設(shè)備,除塵設(shè)備,粗、中、三級(jí)過(guò)濾新回風(fēng)的空調(diào)系統(tǒng)和人員通過(guò)淋浴房。
五、溫度、濕度
除特殊技術(shù)外，從采暖、通風(fēng)、空調(diào)等方面來(lái)看，主要是保持操作者的舒適性，即適當(dāng)?shù)臏囟群蜐穸取４送?我們應(yīng)注意幾個(gè)目標(biāo),如橫截面風(fēng)速空氣管的進(jìn)氣口,噪音,空氣管的橫截面風(fēng)速在進(jìn)氣噪聲、照明和新鮮的空氣體積,等,不應(yīng)該被忽視的計(jì)劃。