全球半導(dǎo)體行業(yè)穩(wěn)定向好,中國市場(chǎng)如火如荼也帶動(dòng)了整個(gè)潔凈室產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。綜合來看,三因素決定我國半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展:
1)國內(nèi)半導(dǎo)體銷售占比和增速遠(yuǎn)高于全球平均水平,半導(dǎo)體市場(chǎng)消費(fèi)基數(shù)維持高位。
2)我國半導(dǎo)體設(shè)備支出占比小增速快,設(shè)備市場(chǎng)增長空間大。
3)半導(dǎo)體貿(mào)易逆差持續(xù)維持1,600億美元高位,“進(jìn)口替代”大勢(shì)所趨。
復(fù)合型:復(fù)合型是將紊流型與層流型復(fù)合或結(jié)合，提供一定的超潔凈空氣。
(1)隧道清潔:采用過濾器或ULPA過濾器，覆蓋工藝區(qū)域或作業(yè)區(qū)域，將清潔度提升至10級(jí)以上，節(jié)省安裝成本。這種類型需要將操作者的操作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器維修隔離開來，以防止在機(jī)器維修過程中影響操作和質(zhì)量。這種類型主要用于ULSI工藝。干凈的隧道有兩個(gè)好處:
A.簡單彈性膨脹;
b、設(shè)備維修時(shí)可在維修區(qū)域內(nèi)輕松完成。
(2)清潔管道:對(duì)產(chǎn)品工藝通過的自動(dòng)化生產(chǎn)線進(jìn)行封閉、凈化，將潔凈度提升至100級(jí)以上。由于產(chǎn)品、操作人員與產(chǎn)生粉塵的環(huán)境隔離，少量送風(fēng)可獲得良好的清潔度，節(jié)約能源，無需人工操作的自動(dòng)化生產(chǎn)線更適合使用。適用于醫(yī)藥、食品、半導(dǎo)體等行業(yè)。
(3)部分潔凈室同步安裝:將生產(chǎn)用潔凈室1000-100000至10-1000以上的紊流潔凈室的產(chǎn)品工藝區(qū)域潔凈度提高;清潔操作臺(tái)、清潔操作室、清潔空氣柜等。
清潔操作平臺(tái):1-100級(jí)。
清潔工作了:為了形成一個(gè)小空間在動(dòng)蕩的潔凈室空間與防靜電透明塑料布,獨(dú)立HEPA或ULPA和空調(diào)送風(fēng)單元選擇成為一個(gè)更高級(jí)別的潔凈空間,10 - 1000級(jí),高約2.5米,占地面積約10平方米或更少,四個(gè)柱子和可移動(dòng)的輪子,可以靈活使用。
目前很多企業(yè)都在建設(shè)凈化工程，但編者提醒我們，在凈化工程的設(shè)計(jì)和施工中，有些細(xì)節(jié)需要慎重，不能敷衍了事。否則，很可能“千萬里的堤岸就會(huì)在蟻巢中崩塌”。在項(xiàng)目結(jié)束時(shí)，需要投入大量的資金和精力來完成，在驗(yàn)收時(shí)，由于風(fēng)道不當(dāng)或人員移動(dòng)，可能無法達(dá)到預(yù)期的凈化效果?？照{(diào)凈化節(jié)能
空調(diào)凈化是清潔化工行業(yè)的一大能源消耗。凈化工程的設(shè)計(jì)和施工應(yīng)注意節(jié)能措施。設(shè)計(jì)、系統(tǒng)和分工的區(qū)域,空氣供給體積的計(jì)算,溫度和相對(duì)溫度的測(cè)定,測(cè)定空氣清潔度水平和變化的頻率,清新的空氣,比空氣管的絕緣,咬的影響形式生產(chǎn)風(fēng)管漏風(fēng)率,連接點(diǎn)的影響主要管和支管的氣流阻力,法蘭接頭是否漏氣,等等,而空調(diào)箱、風(fēng)機(jī)、冷水機(jī)等設(shè)備的選擇都與能耗無關(guān)，因此在凈化工程中有必要考慮這些細(xì)節(jié)。
根據(jù)氣候條件選擇空調(diào)箱
凈化工程中空調(diào)箱的選擇應(yīng)考慮氣候環(huán)境。例如,在北方地區(qū)冬季低溫和大灰塵含量,凈化項(xiàng)目應(yīng)該添加新鮮空氣預(yù)熱段一般空調(diào)機(jī)組,并選擇水噴灑空氣處理模式,所以它不僅可以洗空氣灰塵,但也產(chǎn)生熱交換達(dá)到所需的溫度和濕度。我國南方地區(qū)氣候濕潤，空氣中粉塵濃度低，冬季不需要對(duì)新鮮空氣進(jìn)行預(yù)熱。對(duì)于空氣過濾和溫濕度調(diào)節(jié)，選擇初級(jí)效果過濾。冰面表面的溫濕度調(diào)節(jié)也可以加強(qiáng)降溫降溫的過程，然后再通過中間效應(yīng)過濾和終端過濾或亞過濾。
潔凈實(shí)驗(yàn)區(qū)的緩沖間部分面積不能超過主實(shí)驗(yàn)室的八分之一,這是有規(guī)定的.
1、 主體結(jié)構(gòu)：
主體為彩鋼板、鋁合金型材。室內(nèi)所有陰角、陽角均采用鋁合金50內(nèi)圓角鋁，從而解決容易污染、積塵、不易清掃等問題。結(jié)構(gòu)牢固，線條簡明，美觀大方，密封性好。
2、 標(biāo)準(zhǔn)的四區(qū)分隔和氣壓調(diào)節(jié)：
將PCR過程分成試劑準(zhǔn)備、標(biāo)本制備和PCR擴(kuò)增，產(chǎn)物分析四個(gè)獨(dú)立的實(shí)驗(yàn)區(qū)。整個(gè)區(qū)域有一個(gè)整體緩沖走廊。每個(gè)獨(dú)立實(shí)驗(yàn)區(qū)設(shè)置有緩沖區(qū)，同時(shí)各區(qū)通過氣壓調(diào)節(jié)，使整個(gè)PCR實(shí)驗(yàn)過程中試劑和標(biāo)本免受氣溶膠的污染并降低擴(kuò)增產(chǎn)物對(duì)人員和環(huán)境的污染。
可打開緩沖區(qū)Ⅰ，緩沖區(qū)Ⅱ和 PCR 擴(kuò)增區(qū)的排風(fēng)扇往外排氣，在實(shí)驗(yàn)區(qū)的外墻上和各扇門上都安裝有風(fēng)量可調(diào)的回風(fēng)口，空氣通過回風(fēng)口向室內(nèi)換氣。
3、 ：
在三個(gè)實(shí)驗(yàn)區(qū)和三個(gè)緩沖區(qū)頂部以及傳送窗內(nèi)部安裝有紫外燈，供用。
在試劑準(zhǔn)備區(qū)和標(biāo)本制備區(qū) 還設(shè)置移動(dòng)紫外線燈，對(duì)實(shí)驗(yàn)桌進(jìn)行局部。
4、 不銹鋼傳遞窗：
試劑和標(biāo)本通過機(jī)械連鎖不銹鋼（不建議使用電子連鎖方式）傳遞窗傳遞，保證試劑和標(biāo)本在傳遞過程中不受污染（人物分流）。
5、 地面
地面建議使用PVC卷材地面或自流坪地面，整體性好。便于進(jìn)行清掃，耐腐蝕。
6、 照明
燈具要選用凈化燈具，能達(dá)到便于清洗、不積塵的特點(diǎn)。
在建設(shè)的過程中應(yīng)注意：
●規(guī)范的安裝流程和的服務(wù)流程。
●嚴(yán)格按照規(guī)范科學(xué)設(shè)計(jì)的安裝流程。
●安裝前需要確定以下安裝條件，如：電源電壓，電源進(jìn)線位置，電話網(wǎng)絡(luò)線進(jìn)線位置，進(jìn)水水壓，小安裝空間，地面平整度，通風(fēng)