精密機(jī)械零部件加工可以達(dá)到普通加工達(dá)不到的高精度，高精度也有賴于精密的加工設(shè)備和準(zhǔn)確的克制系統(tǒng)，并采用精密掩膜作為中介物，來實現(xiàn)對外表層物質(zhì)去除或添加的量做出極細(xì)微的控制。

一、精密零件切削加工

主要有精密車削、鏡面磨削和研磨等。在精密車床上用通過精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。

二、精密零件加工

精密零件加工精度以納米，甚至后以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時，超精密零件切削加工方法已不能適應(yīng)，必要借助特種精密零件加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯(lián)合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯(lián)合或晶格變形，以達(dá)到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。