通過使用微光在微小區(qū)域中測量反射率，可以進(jìn)行高精度的膜厚和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。

諸如各種膜，晶片，光學(xué)材料和多層膜之類的涂膜的厚度可以無損且非接觸地測量。1秒/點(diǎn)的高速測量是可能的。它還配備了軟件，即使是初學(xué)者也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)

特殊長度

薄膜厚度測量所需的功能集成在頭部

使用微光（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）進(jìn)行高精度的反射率測量

1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測量

在微觀條件下（紫外到近紅外）實(shí)現(xiàn)寬測量波長范圍的光學(xué)系統(tǒng)

區(qū)域傳感器的機(jī)制

簡單的分析向?qū)?，即使是初學(xué)者也可以分析光學(xué)常數(shù)

配有宏功能，可讓您自定義測量序列

可以分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)（多點(diǎn)分析方法）

兼容300mm載物臺

支持各種自定義

技術(shù)指標(biāo)

類型OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3波長范圍230-800納米360-1100納米900-1600納米膜厚范圍* 11 nm至35μm7 nm至49μm16 nm至92μm樣本數(shù)量* 2多200 x 200 x 17毫米光斑直徑φ5，φ10，φ20，φ40

*以上規(guī)格為自動XY工作臺。

* 1膜厚范圍轉(zhuǎn)換為SiO2。

* 2請與我們聯(lián)系以獲取300 mm位移臺。

類型自動XY載物臺類型固定框類型內(nèi)置頭型尺寸

（寬x深x高）556 x 566 x 618毫米368 x 468 x 491毫米210 x 441 x 474毫米

90 x 250 x 190毫米*重量66公斤38公斤23公斤

4公斤*耗電量AC100V±10V 500VAAC100V±10V 400VA

* AC / DC電源單元