拋光液作為金屬加工液檢測種類的重要一員,對金屬表面的打磨處理,滿足平坦化需求起著關(guān)鍵性的作用。拋光液適用于鉛錫合金, 銅, 鋅合金, 不銹鋼, 鋁合金, 鐵等金屬零部件的拋光, 光亮度可達(dá) 12 級, 可取代多種進(jìn)口拋光劑和拋光粉。
拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動力學(xué)過程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。 拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來的動力學(xué)過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。
半導(dǎo)體行業(yè) CMP技術(shù)還廣泛的應(yīng)用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路中(ULSI)對基體材料硅晶片的拋光。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的急速發(fā)展,對拋光技術(shù)提出了新的要求,傳統(tǒng)的拋光技術(shù)(如:基于淀積技術(shù)的選擇淀積、濺射等)雖然也可以提供“光滑”的表面,但卻都是局部平面化技術(shù),不能做到全局平面化,而化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)解決了這個問題,它是可以在整個硅圓晶片上平坦化的工藝技術(shù)。
拋光液作為金屬加工液檢測種類的重要一員,對金屬表面的打磨處理,滿足平坦化需求起著關(guān)鍵性的作用。拋光液適用于鉛錫合金, 銅, 鋅合金, 不銹鋼, 鋁合金, 鐵等金屬零部件的拋光, 光亮度可達(dá) 12 級, 可取代多種進(jìn)口拋光劑和拋光粉。