拋光液是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑,拋光液具有良好的去油污,防銹,清洗和增光性能,并能使金屬制品顯露出真實(shí)的金屬光澤。性能穩(wěn)定、,對(duì)環(huán)境無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)。
氧化鋁和碳化硅拋光液 是以超細(xì)氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液,主要成分是微米或亞微米級(jí)的磨料。 主要用于高精密光學(xué)儀器、硬盤(pán)基板、磁頭、陶瓷、光纖連接器等方面的研磨和拋光。
拋光液作為金屬加工液檢測(cè)種類(lèi)的重要一員,對(duì)金屬表面的打磨處理,滿(mǎn)足平坦化需求起著關(guān)鍵性的作用。拋光液適用于鉛錫合金, 銅, 鋅合金, 不銹鋼, 鋁合金, 鐵等金屬零部件的拋光, 光亮度可達(dá) 12 級(jí), 可取代多種進(jìn)口拋光劑和拋光粉。
半導(dǎo)體行業(yè) CMP技術(shù)還廣泛的應(yīng)用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路中(ULSI)對(duì)基體材料硅晶片的拋光。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的急速發(fā)展,對(duì)拋光技術(shù)提出了新的要求,傳統(tǒng)的拋光技術(shù)(如:基于淀積技術(shù)的選擇淀積、濺射等)雖然也可以提供“光滑”的表面,但卻都是局部平面化技術(shù),不能做到全局平面化,而化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)解決了這個(gè)問(wèn)題,它是可以在整個(gè)硅圓晶片上平坦化的工藝技術(shù)。