拋光液是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑,拋光液具有良好的去油污,防銹,清洗和增光性能,并能使金屬制品顯露出真實的金屬光澤。性能穩(wěn)定、,對環(huán)境無污染等優(yōu)點。
拋光液作為金屬加工液檢測種類的重要一員,對金屬表面的打磨處理,滿足平坦化需求起著關鍵性的作用。拋光液適用于鉛錫合金, 銅, 鋅合金, 不銹鋼, 鋁合金, 鐵等金屬零部件的拋光, 光亮度可達 12 級, 可取代多種進口拋光劑和拋光粉。
化學拋光是一種將金相樣品浸入調(diào)配的化學拋光液中,借化學藥劑的溶解作用而得到的拋光表面的拋光方法。化學拋光是常見的金相樣品拋光方法之一,這種方法操作簡便,不需任何儀器設備,只需要選擇適當?shù)幕瘜W拋光液和掌握的拋光規(guī)范,就能快速得到較理想的光潔而無變形層的表面。
半導體行業(yè) CMP技術還廣泛的應用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路中(ULSI)對基體材料硅晶片的拋光。隨著半導體工業(yè)的急速發(fā)展,對拋光技術提出了新的要求,傳統(tǒng)的拋光技術(如:基于淀積技術的選擇淀積、濺射等)雖然也可以提供“光滑”的表面,但卻都是局部平面化技術,不能做到全局平面化,而化學機械拋光技術解決了這個問題,它是可以在整個硅圓晶片上平坦化的工藝技術。