電子行業(yè)是一個(gè)資本密集、技術(shù)密集的高技術(shù)產(chǎn)業(yè),在其生產(chǎn)過程中使用了各種光刻膠、顯影液等溶劑,由此造成的污染物向環(huán)境排放也日益引起重視。以進(jìn)一步加強(qiáng)行業(yè)污染控制,規(guī)范行業(yè)環(huán)境保護(hù)管理工作。
由于電子行業(yè)生產(chǎn)工藝對(duì)操作室清潔度要求高,通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此電子制造業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。電子行業(yè)廢氣產(chǎn)生來源主要有焊錫廢氣、含浸廢氣。焊錫廢氣主要成分有煙塵、芳香烴等有害物質(zhì);含浸廢氣。含浸廢氣包括傳感器含浸、漆包線含浸,浸泡之后要經(jīng)過180℃-220℃的烤箱烘烤,主要產(chǎn)生煙塵,溶劑油,聚酰亞胺,甲酚,二甲酚,二甲苯,異丙醇,等有害物質(zhì)。
針對(duì)此類VOCs,活性炭吸附濃縮催化燃燒裝置是目前為止為有效的治理工藝。
工業(yè)上低濃度、大風(fēng)量的VOCs 的排放,直接進(jìn)行催化燃燒和高溫焚燒需要消耗大量的熱能,設(shè)備的運(yùn)行成本非常高。活性炭吸附濃縮催化燃燒組合工藝適合于大風(fēng)量、低濃度或濃度不穩(wěn)定情況下的廢氣治理,是目前我國電子行業(yè)大風(fēng)量、低濃度有機(jī)廢氣治理的主流技術(shù)。
1、運(yùn)行費(fèi)用低,性價(jià)比合理。
2、凈化效率高,吸附凈化效率≥90%,沸石轉(zhuǎn)輪吸附凈化效率≥95%。
3、RTO/RCO/CO熱氧化凈化效率≥95%,熱效率高。
4、運(yùn)行穩(wěn)定性高。
5、操作簡(jiǎn)便,自動(dòng)化程度高。