產(chǎn)品應(yīng)用：

該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、

快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì)，可對(duì)樣品進(jìn)行快速升降溫處理；管內(nèi)測溫設(shè)計(jì)，

溫控精度高,升溫速率50℃/s;緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。

天津中環(huán)電爐股份有限公司

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