對于要求比較高的無塵車間,還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層,再通過鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來達到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿,那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來達到防靜電功能。一般來說,電子無塵車間對防靜電的要求會比較高。
為達到潔凈水平,無塵車間的設(shè)置需要采取綜合措施,包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護管理等,其中空氣凈化措施是達到潔凈水平的根本保證。
在決定無塵車間的設(shè)計之前,必須仔細考慮工廠的工作性質(zhì)和氣流條件。在粉塵排放量較大的無塵車間內(nèi),不要使用地面送風(fēng),以免進入其他需要清潔的工作場所。
無塵車間必須防止外界空氣進入室內(nèi),室內(nèi)必須保持正壓才能達到目的。為了獲得必要的室內(nèi)壓力,必須添加適當(dāng)?shù)男迈r空氣。
在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。