對(duì)于要求比較高的無塵車間,還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層,再通過鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來達(dá)到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿,那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來達(dá)到防靜電功能。一般來說,電子無塵車間對(duì)防靜電的要求會(huì)比較高。
在工作中,工作人員應(yīng)當(dāng)盡量避免或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù),如果可以,還是采取全自動(dòng)的生產(chǎn)流程。如果一定要接觸的話,應(yīng)該先洗干凈手,并且戴上手套,防止對(duì)設(shè)備和產(chǎn)品造成污染。
在整個(gè)集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn),芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會(huì)成為廢品,因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o塵車間的廢品問題之一。
無塵車間工人在防火墻兩端2m范圍內(nèi)穿管、穿管、穿隔熱層。根據(jù)上述需要,在潔凈室工程中,經(jīng)常采用拍賣保溫板和復(fù)合硅酸鹽保溫板(防潮層和外保護(hù)材料以及與保溫材料相匹配的液體泥漿),而阻燃自熄聚苯乙烯保溫板不符合消防要求,限制了其應(yīng)用。這里重要的是,當(dāng)輸送的空氣溫度低于環(huán)境溫度時(shí),由于隔熱結(jié)構(gòu)內(nèi)外壁之間的溫差而產(chǎn)生水蒸氣的分壓差。由于分壓差的影響,管外空氣中的水蒸氣隨熱流滲入保溫材料,導(dǎo)致保溫結(jié)構(gòu)內(nèi)凝結(jié),保溫材料的保溫性能降低,必須在保溫層外設(shè)置防潮層。當(dāng)氣溫高于環(huán)境溫度時(shí),保溫結(jié)構(gòu)一般不設(shè)置防潮層。保溫材料采用閉孔結(jié)構(gòu),防止水汽滲入。如防水層為液體泥漿,復(fù)合硅酸鹽保溫板施工后無接縫。防潮效果很好,但是價(jià)格很高。