超精加工是采用裝在振動(dòng)頭上的細(xì)粒度油石對(duì)精加工表面進(jìn)行精整加工。砂帶磨削是采用高速運(yùn)轉(zhuǎn)的環(huán)形砂帶加工工件表面的磨削。鏡面磨削是達(dá)到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件,表面粗糙度不大于0.01微米,光如鏡面,可以清晰成像。精密加工在制造業(yè)中處于十分重要的地位,常用于精密絲杠、精密齒輪、精密蝸輪、精密導(dǎo)軌和精密軸承等關(guān)鍵零件的加工。
由于切削過程殘留面積小,又限度地排除了切削力、切削熱和振動(dòng)等的不利影響,因此能有效地去除上道工序留下的表面變質(zhì)層,加工后表面基本上不帶有殘余拉應(yīng)力,粗糙度也大大減小,極大地提高了加工表面質(zhì)量。高光潔高精度磨削包括精密磨削、超精密磨削和鏡面磨削。
這些方法的特點(diǎn)是對(duì)表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細(xì)微的控制。但是要獲得超精密的加工精度,仍有賴于精密的加工設(shè)備和的控制系統(tǒng),并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑(見光刻)進(jìn)行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。
傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法(普通加工)與精密和超精密加工方法一樣。隨著新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備以及新的測(cè)試技術(shù)和儀器的采用,其加工精度都在不斷地提高。
加工精度的不斷提高,反映了加工工件時(shí)材料的分割水平不斷由宏觀進(jìn)入微觀世界的發(fā)展趨勢(shì)。隨著時(shí)間的進(jìn)展,原來認(rèn)為是難以達(dá)到的加工精度會(huì)變得相對(duì)容易。因此,普通加工、精密加工和超精密加工只是一個(gè)相對(duì)概念?其間的界限隨著時(shí)間的推移不斷變化。精密切削與超精密加工的典型代表是金剛石切削。