銦屬于稀散金屬,是一種稀缺的戰(zhàn)略資源。銦因其光滲透性和導(dǎo)電性強,主要可用于生產(chǎn)ITO靶材,而ITO靶材是制造液晶顯示器和平板屏幕的主要原材料,這一用途是銦的主要消費領(lǐng)域,占全球銦消費量的70%;ITO靶材生產(chǎn)及其后續(xù)加工過程中產(chǎn)生的邊角料、切屑和廢品,以及濺射鍍膜后的廢靶材等,是銦的二次再生資源的主要來源。
對ITO廢靶材中銦錫進行資源化的關(guān)鍵是要綜合考量銦錫的分離率、直收率以及產(chǎn)品和副產(chǎn)品的品質(zhì)等經(jīng)濟技術(shù)指標(biāo)。上述幾種主流的從ITO廢靶中綜合回收銦錫的工藝中有一個共性的問題,那就是銦錫的分離不夠徹底,銦的回收率在97%~98%,進一步提升銦收率的空間較小,產(chǎn)生的錫渣或粗錫中含銦較高,作為錫原料或產(chǎn)品出售時會造成銦的損失;所以,探尋一種從ITO廢靶材中充分、徹底分離并回收銦錫的新方法顯得尤為重要。
ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近50%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(jié)(1600度,通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。
目前中國ITO靶材供應(yīng)超一半左右依賴進口。本土廠商生產(chǎn)的ITO靶材主要供應(yīng)中低端市場,僅占國內(nèi)市場30%的份額;而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國進口,占據(jù)了70%的市場份額。