半導(dǎo)體廢氣去除凈化方案

半導(dǎo)體工業(yè)在加工的過(guò)程中會(huì)使用到光刻膠、蝕刻液、清洗劑、顯影劑等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機(jī)物成分，排放出來(lái)的廢氣含有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物，而主要處理的是具有揮發(fā)性的VOCs。VOCs污染物為有機(jī)化合物，在濃度較高且有火花或靜電情況下，極易發(fā)生閃爆現(xiàn)象。半導(dǎo)體在制造過(guò)程中一般的污染源包括顆粒污染物、金屬離子和化學(xué)物質(zhì)等，而這些都是屬于有害的污染物。

半導(dǎo)體廢氣處理方法根據(jù)工業(yè)廢氣成分進(jìn)行廢氣處理設(shè)備的選擇：

噴淋塔：

噴淋塔可分為酸液噴淋塔、堿液噴淋塔、循環(huán)水噴淋塔，因在進(jìn)行廢氣處理的過(guò)程中會(huì)涉及到酸堿等不同的污染物質(zhì)，設(shè)備會(huì)根據(jù)廢氣的性質(zhì)、采用的處理工藝將設(shè)備的材料劃分為東莞玻璃鋼噴淋塔、東莞pp噴淋塔、東莞不銹鋼噴淋塔。

噴淋塔對(duì)各種腐蝕性氣體凈化處理效果明顯，能有效去除氯化氫氣體(HCl)、氟化氫氣體(HF)、氨氣(NH3)、硫酸霧(H2SO4)、鉻酸霧(CrO3)、氰氫酸氣體(HCN)、堿蒸氣(NaOH)、福爾馬林(HCHO)等水溶性氣體。東莞噴淋塔廢氣凈化效率高、操作管理簡(jiǎn)單、使用壽命長(zhǎng)，凈化處理后的酸堿廢氣排放達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)。