電漿的產(chǎn)生是利用直流、交流、射頻或微波能源的方式，在適當?shù)牡蛪籂顟B(tài)（約100mTorr至1Torr(1atm=760Torr)及密閉空間通以電源（12ev)，將通入密閉空間之氣體離子化，產(chǎn)生氣態(tài)之粒子；利用離子化之粒子及借由極板所提供之電場，加速粒子間之撞擊作用。而經(jīng)由撞擊產(chǎn)生之二次電子與通入密閉空間之氣態(tài)粒子，尤其是不帶電荷的氣體分子及原子團再次發(fā)生撞擊。在撞擊之間便產(chǎn)生了電漿及火光。而經(jīng)由撞擊之電子與粒子相結合而變成原子團。