在100?1000nm范圍內(nèi),具有不同特性的背散射電子以不同的原子序數(shù)發(fā)射。 因此,背向散射電子圖像具有形態(tài)特征和辨別原子序數(shù)的能力。 因此,反向散射電子圖像可以反映化學(xué)元素。 成分分配。 當(dāng)前的掃描電子顯微鏡非常強(qiáng)大,任何精細(xì)的結(jié)構(gòu)或表面特征都可以放大到數(shù)十萬倍用于觀察和分析。
就PCB或焊點失效分析而言,SEM主要用于分析失效機(jī)理。 具體而言,它用于觀察焊盤表面的形態(tài),焊點的金相結(jié)構(gòu),并測量金屬間化學(xué)分析,可焊性涂層分析和錫晶須分析。 與光學(xué)顯微鏡不同,掃描電子顯微鏡形成電子圖像,因此只有黑色和白色,并且掃描電子顯微鏡的樣品需要導(dǎo)電。 非導(dǎo)體和某些半導(dǎo)體需要噴涂金或碳。 否則,樣品表面上的電荷積累會影響樣品的觀察。 另外,SEM圖像的景深遠(yuǎn)大于光學(xué)顯微鏡的景深。 對于不均勻樣品,例如金相組織,微裂紋和錫晶須,這是一種重要的分析方法。