Keithley 6517B 靜電計 / 高阻表是全球科研實驗室靈敏測量的標準。吉時利在弱電測量方面擁有 60 多年的專業(yè)經(jīng)驗，吉時利靜電計能夠可靠地測量 10 aA (10×10-18A) 電流、 1 fC 電荷，并支持 1018Ω 的電阻測量。6517B 還能夠測量高達 200 V 的電壓范圍，輸入阻抗超過 200 TΩ。所有這些性能都融合在一臺儀器中，操作起來像數(shù)字萬用表一樣簡便。

主要特點

測量高達 1018 Ω的電阻

10 aA (10×10-18 A) 電流測量分辨率

6517B、8009 電阻率測試夾具和 KickStart 高電阻率應用相結合，為 ASTM D257 高電阻率測量提供完整的硬件和軟件解決方案

<3 fA 輸入偏置電流

6 位半高準確度測量模式

電流范圍上 <20μV 壓降

高達 200 V 電壓測量，>200Ω 輸入阻抗

內置 ±1000 V 電壓源

獨有高阻測量交換電極電壓源和測量方法

內置測試序列，支持四種不同器件表征測試、表面和體電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描

選配插入式掃描卡，可使用一個測試設置測試多 10個器件或材料樣本

GPIB 和 RS-232 接口

杰出的性能指標

6517B 把吉時利數(shù)十年的弱電測量技術知識融匯到創(chuàng)新的低電流輸入放大器中，輸入偏置電流 <3 fA，噪聲僅 0.75fA p-p，電流范圍上壓降 <20 μV。對近似理想的電路 負荷，電壓電路輸入阻抗超過 200 TΩ。這些指標保證了所需的準確度和靈敏度，可以在物理、光學、納米科技和材料科學等領域準確地進行低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測 量。內置 ±1 kV 電壓源擁有掃描功能，簡化了絕緣材料上的漏流、擊穿和電阻測試及體電阻率 (W-cm) 和表面電阻率(W/square) 測量工作。

寬測量范圍

6517B 在電流、電阻、電壓和電荷測量量程的整個頻寬上提供了自動量程功能。6517B 融合了以下測量功能：

超靈敏電流表，可測量 10 aA ~ 20 mA 電流

阻抗的電壓表，可測量 1mV ~ 200 V 電壓

超高范圍電阻表，可測量 1Ω ~ 1018 Ω 電阻

靈敏的電量計，可測量 1 fC ~ 2μC 電荷

交換電極電壓源方法消除了材料中背景電流的影響，可以進行可重復的、準確的高阻和電阻率測量。

改進高電阻率測量

許多測試應用要求材料有高電阻率 ( 表面或體積 )。傳統(tǒng)測量方法對樣本應用足夠大的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后使用歐姆定律 (R=V/I) 算出電阻。盡管高阻材料和器件產(chǎn) 生的電流很小，很難準確測量，但吉時利靜電計和皮安計可以成功地完成這些測量。

即使使用的是優(yōu)質儀器，材料中固有的背景電流仍可能使其 很難準確地執(zhí)行測量。由于壓電效應、靜電對電容元件充電 及偏振效應，絕緣材料、聚合物和塑料一般都有背景電流。 背景電流通常大于等于應用的電壓產(chǎn)生的電流。在這些情況 下，結果通常會不穩(wěn)定，提供的電阻讀數(shù)或電阻率讀數(shù)不準， 甚至會產(chǎn)生錯誤的負值。吉時利 6517B 就是為解決這些問 題而設計的，可以一致地、可重復地、準確地測量各種材料 和元件，特別是在與 8009 電阻率測試夾具結合使用時。

交換電電阻率測量方法

6517B 采用交換電極方法，幾乎消除了樣本中任何背景電 流的影響，另外也抵消了背景電流的一級和二級漂移。交換 電極方法應用正極性電壓，然后在指定延遲 ( 測量時間 ) 后 測量電流。然后顛倒極性，使用相同的延遲再次測量電流。 這一過程一直重復，后根據(jù)四個電流測量的加權平均 值計算出電阻。 在大多數(shù)材料上，通過 7 次反轉 ( 即舍棄 前三個讀數(shù) )，這種方法一般可以得出高度可重復的、準確 的電阻 ( 或電阻率 ) 測量數(shù)據(jù)。例如，在 8009 電阻率測試 夾具中，可以以 0.3% 的可重復率測量 1mm 厚的 1014 Ω-cm 材料樣本，在 15 秒周期內得到 <200 fA 的背景電流變化。

與內置源增強高阻測量準確度

濕度和溫度會明顯影響材料的電阻率值。為幫助您準確比較 在變化條件下采集的讀數(shù)，6517B 提供了一個內置 K 型熱 電耦，并可以選配 6517-RH 相對濕度探頭。內置 50,000 個讀數(shù)的數(shù)據(jù)存儲緩沖器可以記錄和調用測量數(shù)據(jù)，包括測 量時間、溫度和相對濕度戳記。

完整的高電阻率測量解決方案

可以使用以下套件，采用標準 ASTM D-257 “絕緣材料的DC 電阻或電導”規(guī)定的方法執(zhí)行高電阻率測量：

KICKSTARTFL-HRMA2 高電阻率應用，適用 KickStart儀器軟件控制環(huán)境

6517B 靜電計

8009 電阻率測試夾具

KickStart 高電阻率應用控制著執(zhí)行所需測量的靜電計和測試夾具，進行 ASTM- D-257 標準電阻率測量。它可以以高達1000V 電壓測試材料，確定高達 1018 Ω-cm 的電阻率，分析電流隨時間變化的階躍響應圖，確定測量要等多長時間被測材料才會穩(wěn)定，分析多個讀數(shù)圖，確保獲得穩(wěn)定一致的測量。KickStart 高阻應用采用交換電極技術，消除固有的背景電流，實現(xiàn)準確的電阻率測量。還可以使用這個應用，使用選配的熱電偶和相對濕度探頭，觀測電阻率與溫度和相對濕度的關聯(lián)度。