微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴(yán)格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。

對微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實(shí)可行的規(guī)定

對防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬㎡

丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

2、層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線型，空氣由過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

3、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

凈化車間工程設(shè)計一般都有設(shè)計院或凈化工程公司來承接，很少出現(xiàn)設(shè)計問題不合理的原因，主要是一些不正規(guī)的公司，沒有承接凈化車間的資質(zhì)，設(shè)計不合理，在施工中偷工減料，使用的設(shè)備不合適，造成凈化車間潔凈度不合格。另一個原因是，公司的套用方案，不符合生產(chǎn)要求，在設(shè)計上有不足，導(dǎo)致清潔度不合格