空氣凈化技術(shù)是電子廠凈化車間的核心。其中,主要的凈化技術(shù)包括過(guò)濾、靜電除塵、化學(xué)吸附等。過(guò)濾器可以有效地過(guò)濾空氣中的微粒,將空氣中的塵埃、等顆粒物截留下來(lái)。
靜電除塵技術(shù)則可以通過(guò)靜電作用將空氣中帶電粒子去除,進(jìn)一步提高空氣質(zhì)量?;瘜W(xué)吸附技術(shù)則可以去除空氣中的有害氣體,例如甲醛、苯等有機(jī)物。這些技術(shù)的綜合應(yīng)用,可以確保車間內(nèi)的空氣干凈、清潔,符合生產(chǎn)要求。
印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房:6.5級(jí)、24±2℃、65%±5%。
鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū):6級(jí)、23℃;露點(diǎn)(DP)-30℃;組裝、測(cè)試潔凈室(區(qū)):7級(jí)、23±2℃、≈20%。
等離子顯示器(PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房
涂屏間:5.5級(jí)、25±2℃,50%±10%。
其他生產(chǎn)間:6.5~8級(jí)、20~26℃、55%±10%。
凈化工程包括:亂流式、亂流式、復(fù)合式。
1、亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
2、層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。
3、復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。