一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因?yàn)樵趦蓚€電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過

靈敏度

指麥克風(fēng)的開路電壓與作用在其膜片上的聲壓之比。實(shí)際上，麥克風(fēng)在聲場必然會引起聲場散射，所以靈敏度有兩種定義。一種是實(shí)際作用于膜片上的聲壓，稱為聲壓靈敏度，另一種是指麥克風(fēng)未置入聲場的聲場聲壓，稱為聲場靈敏度，其中聲場靈敏度又分為自由場靈敏度和擴(kuò)散場靈敏度。通常錄音用麥克風(fēng)給出聲壓靈敏度，測量用麥克風(fēng)因應(yīng)用類型給出聲壓或聲場靈敏度 。

靈敏度的單位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用靈敏度級來表示，參考靈敏度為1V/Pa

話筒的種類：話筒按其結(jié)構(gòu)不同，一般分為動圈式、晶體式、炭粒式、鋁帶式和電容式等數(shù)種，其中常用的是動圈式話筒和電容式話筒，前者耐用、便宜，后者嬌嫩、價格高、但特性優(yōu)良。

動圈式話筒是通過振膜感應(yīng)聲波造成的空氣壓力變化，帶動置于磁場中的線圈切割磁力線產(chǎn)生與聲壓強(qiáng)度變化相應(yīng)的微弱電流信號。通常動圈話筒噪音低，無需饋送電源，使用簡便，性能穩(wěn)定可靠。

電容話筒的核心是一個電容傳感器。電容的兩極被窄空氣隙隔開，空氣隙就形成電容器的介質(zhì)。在電容的兩極間加上電壓時，聲振動引起電容變化，電路中電流也產(chǎn)生變化，將這信號放大輸出，就可得到質(zhì)量相當(dāng)好的音頻信號。另外有一種駐級體式電容話筒，采用了駐級體材料制作話筒振膜電極，不需要外加極化電壓即可工作，簡化了結(jié)構(gòu)，因此這種話筒非常小巧廉價，同時還具有電容話筒的特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用在各種音頻設(shè)備和拾音環(huán)境中。電容話筒的靈敏度高，頻率響應(yīng)好，音質(zhì)好。

有動圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器，此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。

動圈傳聲器音質(zhì)較好，但體積龐大。

駐極體傳聲器體積小巧，成本低廉，在電話、手機(jī)等設(shè)備中廣泛使用。

硅微麥克風(fēng)基于CMOSMEMS技術(shù)，體積更小。其一致性將比駐極體電容器麥克風(fēng)的一致性好4倍以上，所以MEMS麥克風(fēng)特別適合高性價比的麥克風(fēng)陣列應(yīng)用，其中，匹配得更好的麥克風(fēng)將改進(jìn)聲波形成并降低噪聲。