大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)(ECM),這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比,MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定,不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng),MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊,而性能不會(huì)有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小,這甚至可以節(jié)省制造過(guò)程中的音頻調(diào)試成本。目前,集成電路工藝正越來(lái)越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計(jì)靈活、尺寸微型化、可與信號(hào)處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的,有研究報(bào)道稱(chēng),制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是,在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下,這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽(tīng)覺(jué)頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB),這對(duì)于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當(dāng)敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時(shí),其諧振頻率將增大,卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當(dāng)然,可以通過(guò)調(diào)整敏感膜的尺寸來(lái)獲得更高的一階諧振頻率,但是這仍將減小靈敏度。由此可見(jiàn),壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造 。
鋁帶麥克風(fēng)
對(duì)于鋁帶麥克風(fēng)來(lái)說(shuō),其使用的鋁帶既是麥克風(fēng)膜片,又是在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)體。鋁帶通常由鋁帛制成,厚0~1毫米,寬2毫米~4毫米,質(zhì)量?jī)H為0.2毫克,以求達(dá)到較好的瞬態(tài)反應(yīng)。為了取得在2kHz~4kHz之間較理想的共振頻率,鋁帶被制成皺折狀以保持一個(gè)的張力值。鋁帶作為導(dǎo)體和麥克風(fēng)膜片被懸掛于兩磁極面中間的磁場(chǎng)中,隨入射聲波頻率而振動(dòng),同時(shí)在鋁帶兩端產(chǎn)生一定的電壓輸出
接頭
1/4吋(6.3mm)接頭以及3.5mm接頭有分單聲道(mono)和立體聲(stereo)兩種,簡(jiǎn)單的區(qū)分方式是看接頭上有幾個(gè)黑色的絕緣環(huán),兩個(gè)絕緣環(huán)代表立體聲,一個(gè)絕緣環(huán)則代表單聲道 [2] 。
接地
立體聲時(shí)為右聲道;平衡單聲道時(shí)為反相訊號(hào);或做為單聲道的電源輸入端
立體聲時(shí)為左聲道;平衡單聲道時(shí)為正相訊號(hào);非平衡單聲道時(shí)的信號(hào)輸出端
絕緣環(huán)
靈敏度:
在1KHz的頻率下,0.1Pa規(guī)定聲壓從話筒正面0°主軸上輸入時(shí),話筒的輸出端開(kāi)路輸出電壓,單位為10mV/Pa。靈敏度與輸出阻抗有關(guān)。有時(shí)以分貝表示,并規(guī)定10V/Pa為0dB,因話筒輸出一般為毫伏級(jí),所以,其靈敏度的分貝值始終為負(fù)值。